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Energiekette Reinraumautomation ohne Partikelprobleme

Quelle: Pressemitteilung Igus 2 min Lesedauer

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igus GmbH

Für Mikroelektronik, Halbleiter- und Batteriefertigung verlangt wachsende Automatisierung partikelarme, prozesssichere Energie‑ und Datenversorgung über immer längere Transportwege. Die ISO‑Klasse‑1‑zertifizierte C6‑Energiekette mit neuem e‑spin‑Oberführungsrad von Igus bietet eine kompakte, langlebige Lösung für Reinräume bis 30 m.

Die C6-Energiekette mit e‑spin Obertrumführungsrad (Bild: Igus)
Die C6-Energiekette mit e‑spin Obertrumführungsrad
(Bild: Igus)

In modernen Halbleiterfabriken durchlaufen Siliziumwafer zahlreiche Prozessschritte – von der Lithografie über das Ätzen bis hin zur Metallisierung. Aufgrund der strengen Anforderungen an Sauberkeit und Partikelfreiheit ist ein manueller Transport innerhalb des Reinraums nicht praktikabel. Stattdessen übernehmen immer häufiger automatisierte Systeme den sicheren und effizienten Transport der Wafer-Kassetten über lange Strecken. Beispielsweise per Overhead Hoist Transport (OHT), ein Schienensystem, das die Kassetten unter der Decke bewegt. Das spart zwar Reinraumfläche, stellt Konstrukteure aber vor eine Herausforderung: die Versorgung des OHT mit Strom und Daten. Denn Stromschienen übertragen keine Daten und sind wartungsintensiv. Energieketten benötigen meist eine komplexe Absaugvorrichtung für Partikel. Mit der vom Fraunhofer IPA nach ISO Klasse 1 zertifizierten C6-Energiekette in Kombination mit dem neuen e-spin-Obertrumführungsrad bietet Igus hierfür jetzt eine Lösung. Das System ermöglicht eine kompakte und langlebige Energieführung in Reinräumen – auch auf Verfahrwegen bis zu 30 Metern.

Rollen statt Gleiten

Bei dem Führungssystem namens e-spin handelt es sich um Führungsräder, die wie alle Igus-Energieketten aus tribologisch, sprich auf Reibung und Verschleiß, optimiertem Hochleistungskunststoff bestehen. Die Räder sitzen zwischen Ober- und Untertrum der Energiekette. Die Kettenteile rollen dadurch aufeinander, statt zu gleiten – und das ohne weitere Partikelemission. Die Energieketten lassen sich dank des e-spin-Systems ohne Absaugeinheit in der Produktion innerhalb eines Reinraums nutzen.

Konfigurieren lässt sich das Energiekettensystem zeitsparend über den e-ketten-Experten auf der Website von Igus. Gleichzeitig sei das System aus C6-Energiekette und Führungsrädern laut Hersteller durch den eingesetzten Hochleistungskunststoff abriebfest, wartungsarm und besonders langlebig. Labortests in Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer IPA bestätigen: Das System erreicht bei einer Geschwindigkeit von 0,5 m/s die höchste Reinraumklasse ISO 1. Technische Grenzen möchte Igus in Zukunft hinsichtlich höherer Geschwindigkeiten und längerer Verfahrwege weiter verschieben.

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