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Aerotech Luftgelagerte Rotationsachsen für Oberflächenvermessungen im Nanometerbereich

Redakteur: Kristin Breunig

Mit den ABRX High-Performance Air-Bearing Stages stellt Aerotech seine neue Reihe luftgelagerter Rotationstiche vor. Um maximale Nutzlast- und Formfaktoranforderungen für den Einsatz als einachsiger Positionierer, als Teil eines integrierten Systems oder auch einer integrierten Maschine zu erfüllen, stehen verschiedene ABRX-Rotationsachsen in den Durchmessern 100, 150 und 250 mm zur Verfügung.

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Neue Aerotech-Baureihe ABRX: Die luftgelagerten Rotationsachsen in den Durchmessern 100, 150 und 250 mm eignen sich besonders für Oberflächenvermessungen im Nanometerbereich und auch als Erweiterung für die SMP-Messplattform.
Neue Aerotech-Baureihe ABRX: Die luftgelagerten Rotationsachsen in den Durchmessern 100, 150 und 250 mm eignen sich besonders für Oberflächenvermessungen im Nanometerbereich und auch als Erweiterung für die SMP-Messplattform.
(Bild: Aerotech)

Bei der neuen ABRX-Baureihe handelt es sich um Drehtische, die direkt betrieben werden und dadurch Rotationsgeschwindigkeiten von bis zu 300 rpm erreichen können. Eine weitere Besonderheit sind die Luftlager zur Minimierung von radialen und axialen Fehlern, die in einem Bereich von weniger als 25 nm liegen. Die Fehler lassen sich dabei in synchrone und asynchrone Fehler unterscheiden: Synchron sind die Fehler, die periodisch mit der Achsdrehung auftreten. Hier haben Anwender die Möglichkeit, die Abweichung zu vermessen, abzuspeichern und dann über eine Z-Achse in axialer Richtung oder X-Achse in radialer Richtung zu kompensieren bzw. die Messwerte entsprechend zu korrigieren.

Asynchrone Fehler seien hingegen mehr als Positionsrauschen zu betrachten und können nicht ohne weiteres kompensiert werden. Durch die Kompensation der Synchronfehler ließen sich die radialen und axialen Fehler allerdings deutlich unter 10 nm herabsenken, teilt der Hersteller mit.

Einsatzgebiet

Die ABRX-Serie eignet sich für hochpräzise Test- und Inspektionssysteme sowie Oberflächenmessanwendungen, einschließlich der Messung von Rundheit, Ebenheit, Formfehlern oder anderer Messgrößen der Profilometrie. Auch im Bereich der Medizintechnik wie bspw. bei Röntgen- oder CT-Inspektionsanwendungen oder generell bei Präzisionsfertigungssystemen kommen die Rotationstische zum Einsatz.

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