Sensor-Plattform Miniaturisierter CMOS-ISFET-Sensor für die Analytik und Diagnostik

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Institut für Mikroelektronik- u. Mechatronik-Systeme gGmbH

FAULHABER Antriebssysteme

COSMO CONSULT Gruppe

Das IMMS hat eine Sensor-Plattform auf Basis von miniaturisierten pH-Sensoren (ISFETs) entwickelt, die im kostengünstigen, massenkompatiblen Standard-CMOS-Prozess gefertigt werden. Sie ist bei pH-Auflösung und Drift bis zu 10-fach bzw. 1.400-fach besser als vergleichbare CMOS-ISFET-Chips nach dem Stand der Technik.

Die molekulare Diagnostik zum Nachweis von Viren und Bakterien sowie spezifischen Tumorarten erfolgt heute mit sehr präzisen, aber auch sehr großen und komplexen Messsystemen [1]. Dabei führt ausschließlich geschultes Personal die oft auf Fluoreszenz basierenden langwierigen Verfahren mit Systemen durch, die teure optische Komponenten wie Linsen, Spiegel und Filter benötigen. Das IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme hat eine Sensor-Plattform auf Basis von miniaturisierten pH-Sensoren, so genannten ionensensitiven Feldeffekttransistoren (ISFETs), entwickelt, die im kostengünstigen, massenkompatiblen Standard-CMOS-Prozess gefertigt werden.

Mit dieser nicht-optischen Detektion der pH-Wertänderung kann in Zukunft eine schnelle, präzise und kostengünstige molekulare Diagnostik mittels miniaturisierter Analysesysteme für z. B. Point-of-Care- und In-vitro-Diagnostikanwendungen ermöglicht werden. Darüber hinaus eröffnet diese Plattform viele weitere diagnostische und analytische Applikationen.