Dünnschicht-Widerstände für Medizintechnik und Industrie

Präzision bei Kälte und Hitze Dünnschicht-Widerstände für Medizintechnik und Industrie

22.08.2023 Quelle: Pressemitteilung Susumu Deutschland GmbH 1 min Lesedauer

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Die Präzisions-Dünnfilmwiderstände der Baureihe URG hat Susumu für anspruchsvolle Aufgabenbereiche in der Medizin- sowie der industriellen Mess- und Steuerungstechnik entwickelt. Präzision, Langzeitstabilität und Temperaturkonstanz sind hier entscheidend.

Lieferbar sind die Bauelemente der URG-Serie für den Widerstandsbereich von 100 Ω bis 200 kΩ bei Nennleistungen von 0,063 W bis 0,75 W und Spannungswerten zwischen 100 V und 300 V. (Bild: Susumu) — Lieferbar sind die Bauelemente der URG-Serie für den Widerstandsbereich von 100 Ω bis 200 kΩ bei Nennleistungen von 0,063 W bis 0,75 W und Spannungswerten zwischen 100 V und 300 V.
(Bild: Susumu)

Für Anwendungen in der industriellen Mess- und Steuerungstechnik und der Medizintechnik hat der japanische Hersteller Susumu Co., Ltd die Präzisions-Dünnfilmwiderstände der Baureihe URG entwickelt. Der Einsatz in solchen anspruchsvollen Aufgabenbereichen stellt besonders hohe Anforderungen an alle Bauteile. Präzision, Langzeitstabilität und Temperaturkonstanz sind die wichtigsten. Dafür kommen vor allem Chipwiderstände in Dünnschichttechnologie in Frage – eine technologische Kernkompetenz von Susumu.

Die Grundlage für diese Präzision liefert Susumus Dünnschichttechnologie. Dabei werden hauchdünne Schichten von NiCr im Sputter-Verfahren auf ein Keramiksubstrat aufgebracht. Bei Susumu werden dabei alle Seiten dieser Trägerkeramik mit der NiCr-Schicht versehen. Danach wird über ein weiteres Präzisionsverfahren, die Fine-Pattern-Fotolithografie, in der NiCr-Schicht der Widerstandswert angelegt. Um diese Widerstandsschicht gegen Feuchtigkeit und Partikel zu schützen, wird sofort im Anschluss an den Lithografie-Arbeitsgang eine amorphe Deckschicht aus Glas aufgebracht. Anschließend wird durch das Deckglas hindurch per Lasertrimmung eine Feineinstellung des Widerstandswerts vorgenommen. Zum Schluss wird eine Epoxy-Schutzschicht aufgebracht, die zusätzlichen Schutz gegen Umwelteinflüsse bietet. Dieser Mehrfachschutz bietet die Garantie für Langzeitstabilität und Robustheit.

Anwender von Susumus URG-Serie können somit gute Werte für Temperaturkonstanz, Drift und Genauigkeit erwarten. Diese Metallfilm-Chipwiderstände bieten eine besonders enge Toleranz von ±0,01 Prozent. Ausgelegt für Umgebungstemperaturen von -55°C bis +155°C, verrichten sie ihren Dienst in extrem heißen Umgebungen ebenso zuverlässig wie unter arktischer Kälte – und das bei einem TCR (Temperature Coefficient of Resistance) von ±1 ppm/K und einer Drift von weniger als ±0,02 Prozent.

Lieferbar sind die Bauelemente der URG-Serie für den Widerstandsbereich von 100 Ω bis 200 kΩ bei Nennleistungen von 0,063 W bis 0,75 W und Spannungswerten zwischen 100 V und 300 V. Auf Bedarf können auch höhere Widerstandswerte angefragt werden.

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Stand: 08.12.2025

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